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FDS型分子泵机组是分子泵与前级干泵或双级旋片泵串联，前级管路、真空阀门分子泵电源，控制电源及测量复合真空计等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。

应用领域

可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

性能特点

安装方便，操作简单，结构紧凑，

性能可靠，真空度高，噪音低

技术性能